食品用クエン酸を独自の高純度化技術と分析技術により金属不純物を１ｐｐｂ以下に低減、主にエレクトロニクス分野で使用されています。

■ 毒性が小さく比較的扱いやすい有機酸で、金属腐食性が極めて低い
■ Feなどの金属イオンと錯体形成する（キレート作用）
■ 基板に付着した汚染物や酸化物、Cuなどの重金属を効率的に除去
■ 基板と粒子のゼータ電位を相互反発するように制御(リフト・オフ効果)
■ 原料からの一貫生産による安定品質と安定供給

用途
● P-CMPクリーナー
● エッチング液・ストリッパー溶液
● CMPスラリー
● 半導体基板の洗浄剤
● その他
※当社では各種高純度有機酸を取り扱っておりますのでご相談ください